טעטראַפלאָראָמעטהאַן, אויך באַקאַנט ווי קאַרבאָן טעטראַפלאָריד, איז דער פשוטסטער פלאָראָקאַרבאָן (CF4). עס האט אַ זייער הויכע בונד שטאַרקייט רעכט צו דער נאַטור פון דער קאַרבאָן-פלאָר בונד. עס קען אויך קלאַסיפיצירט ווערן ווי אַ האַלאָאַלקאַן אָדער האַלאָמעטאַן. צוליב די קייפל קאַרבאָן-פלאָר בונדן, און די העכסטע עלעקטראָנעגאַטיוויטי פון פלאָרין, האט דער קאַרבאָן אין טעטראַפלאָראָמעטהאַן אַ באַדייטנדיק positive טיילווייזע אָפּצאָל וואָס פארשטארקט און פארקירצט די פיר קאַרבאָן-פלאָר בונדן דורך צושטעלן נאָך יאָניש כאַראַקטער. טעטראַפלאָראָמעטהאַן איז אַ שטאַרקער גרין־הויז גאַז.
טעטראַפלאָראָמעטהאַן ווערט מאַנטשמאָל גענוצט ווי אַ נידעריק-טעמפּעראַטור קילמיטל. עס ווערט גענוצט אין עלעקטראָניש מיקראָפאַבריקאַציע אַליין אָדער אין קאָמבינאַציע מיט זויערשטאָף ווי אַ פּלאַזמע עטשאַנט פֿאַר סיליקאָן, סיליקאָן דייאַקסייד און סיליקאָן ניטריד.
כעמישע פאָרמולע | CF4 | מאָלעקולאַר וואָג | 88 |
CAS נומער | 75-73-0 | EINECS נומ. | 200-896-5 |
שמעלץ־פונקט | -184℃ | באָלינג פּוינט | -128.1℃ |
סאָלוביליטי | נישט צעלאָזלעך אין וואַסער | געדיכטקייט | 1.96 ג/קמ³ (-184℃) |
אויסזען | אַ קאָלירלאָזער, אָן גערוך, נישט-ברענענדיקער, קאָמפּרעסאַבאַלער גאַז | אַפּליקאַציע | געניצט אין פּלאַזמע עטשינג פּראָצעס פֿאַר פֿאַרשידענע אינטעגרירטע קרייזן, און געניצט אויך ווי לאַזער גאַז, קילשטאָף עטק. |
דאט אידענטיפיקאציע נומער | UN1982 | דאט/אימי שיפּינג נאָמען: | טעטראַפלאָראָמעטהאַן, קאַמפּרעסט אָדער קילער גאַז R14 |
DOT געפאַר קלאַס | קלאַס 2.2 |
אייטעם | ווערט, גראַדע 1 | ווערט, גראַד צוויי | איינהייט |
ריינקייט | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | פּיפּעםוו |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | פּיפּעםוו |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | פּיפּעםוו |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | פּיפּעםוו |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | פּיפּעםוו |
אַנדערע פלאָראָקאַרבאָנס | ≤1.0 | ≤0.5 | פּיפּעםוו |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | פּיפּעםוו |
H2 | ≤1.0 | —— | פּיפּעםוו |
זויערקייט | ≤0.1 | ≤0.1 | פּיפּעםוו |
*אנדערע פלואָראָקאַרבאָנס באַציען זיך צו C2F6C3F8 |
נאטיצן
1) אַלע די טעכנישע דאַטן וואָס זענען אנגעוויזן אויבן זענען בלויז פֿאַר אייער רעפֿערענץ.
2) אן אלטערנאטיווע ספעציפיקאציע איז באַגריסן פֿאַר ווייטערדיקע דיסקוסיע.