Tetrafluorometani, i njohur edhe si tetrafluorid karboni, është fluorokarboni më i thjeshtë (CF4). Ai ka një forcë shumë të lartë lidhjeje për shkak të natyrës së lidhjes karbon-fluor. Mund të klasifikohet gjithashtu si haloalkan ose halometan. Për shkak të lidhjeve të shumëfishta karbon-fluor dhe elektronegativitetit më të lartë të fluorit, karboni në tetrafluorometani ka një ngarkesë të konsiderueshme pozitive të pjesshme e cila forcon dhe shkurton katër lidhjet karbon-fluor duke siguruar karakter jonik shtesë. Tetrafluorometani është një gaz serrë i fuqishëm.
Tetrafluorometani ndonjëherë përdoret si ftohës me temperaturë të ulët. Përdoret në mikrofabrikimin e elektronikës vetëm ose në kombinim me oksigjenin si një agjent gërryes plazme për silikonin, dioksidin e silikonit dhe nitritin e silikonit.
Formula kimike | CF4 | Pesha molekulare | 88 |
Nr. CAS | 75-73-0 | Nr. EINECS | 200-896-5 |
Pika e shkrirjes | -184℃ | Pika e vlimit | -128.1℃ |
tretshmëria | I pazgjidhshëm në ujë | Dendësia | 1.96g/cm³(-184℃) |
Pamja | Një gaz pa ngjyrë, pa erë, jo i ndezshëm dhe i kompresueshëm | Aplikacioni | përdoret në procesin e gdhendjes me plazmë për qarqe të ndryshme të integruara, dhe përdoret gjithashtu si gaz lazer, ftohës etj. |
Numri i ID-së së DOT | OKB1982 | DOT/IMO EMRI I TRANSPORTIT: | Tetrafluorometan, Gaz i kompresuar ose ftohës R14 |
Klasa e Rrezikut DOT | Klasa 2.2 |
Artikull | Vlera, shkalla I | Vlera, shkalla II | Njësia |
Pastërtia | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
Fluorokarbone të tjera | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
Aciditeti | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
*fluorokarbonet e tjera i referohen C2F6C3F8 |
Shënime
1) të gjitha të dhënat teknike të treguara më sipër janë për referencën tuaj.
2) Specifikimi alternativ është i mirëpritur për diskutim të mëtejshëm.