Производи
Јаглерод тетрафлуорид
Тетрафлуорометанот, познат и како јаглерод тетрафлуорид, е најпростиот флуоројаглерод (CF4). Има многу висока јачина на врзување поради природата на врската јаглерод-флуор. Може да се класифицира и како халоалкан или халометан. Поради повеќекратните врски јаглерод-флуор и највисоката електронегативност на флуорот, јаглеродот во тетрафлуорометанот има значителен позитивен парцијален полнеж кој ги зајакнува и скратува четирите врски јаглерод-флуор со обезбедување дополнителен јонски карактер. Тетрафлуорометанот е моќен стакленички гас.
Тетрафлуорометанот понекогаш се користи како нискотемпературно ладилно средство. Се користи во микрофабрикацијата на електроника сам или во комбинација со кислород како плазматично средство за јоргање на силициум, силициум диоксид и силициум нитрид.
| Хемиска формула | CF4 | Молекуларна тежина | 88 |
| CAS бр. | 75-73-0 | EINECS бр. | 200-896-5 |
| Точка на топење | -184℃ | Точка на вриење | -128,1℃ |
| растворливост | Нерастворлив во вода | Густина | 1,96 g/cm³ (-184℃) |
| Изглед | Безбоен, без мирис, незапалив, компресибилен гас | Апликација | се користи во процесот на плазма гравирање за разни интегрирани кола, а се користи и како ласерски гас, фреон итн. |
| DOT ID број | ОН1982 | ИМЕ НА ИСПОРАКА СПОРЕД DOT/IMO: | Тетрафлуорометан, компресиран или гас за ладење R14 |
| Класа на опасност од DOT | Класа 2.2 |
| Ставка | Вредност, I степен | Вредност, степен II | Единица |
| Чистота | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Други флуоројаглероди | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Киселост | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *други флуоројаглеродни јаглеводороди се однесуваат на C2F6Ц3F8 | |||
Белешки
1) сите технички податоци наведени погоре се за ваша референца.
2) алтернативна спецификација е добредојдена за понатамошна дискусија.
